电子注入检测

检测项目

1.载流子浓度：测量范围1e10-1e20cm⁻，精度3%

2.界面态密度：分辨率≥1e10eV⁻cm⁻

3.迁移率谱分析：温度范围77-400K

4.深能级瞬态谱(DLTS)：时间常数10μs-100s

5.表面复合速率：测试频率1kHz-1MHz

检测范围

1.III-V族化合物半导体（GaAs、InP等）

2.硅基功率器件（IGBT、MOSFET）

3.钙钛矿光伏材料

4.OLED显示器件空穴传输层

5.MEMS传感器压电薄膜

检测方法

ASTMF1392-18：场效应晶体管载流子迁移率测试规程

ISO18562-4:2020：半导体材料霍尔效应测量规范

GB/T1551-2009：硅单晶电阻率测定方法

IEC60749-27:2020：半导体器件热载流子注入试验

JESD22-A117E：电子注入栅氧化层完整性测试

检测设备

Keithley4200A-SCS：支持DC-IV/CV/LF噪声多参数分析

AgilentB1500A：具备1μV电压分辨率的半导体参数分析仪

ThermoFisherScientificApreo2SEM：纳米级电子束注入系统

LakeShoreCRX-VF：4K超低温探针台系统

KeysightE4990A：阻抗分析仪（20Hz-120MHz）

OxfordInstrumentsPlasmaPro100：等离子体注入装置

HORIBALabRAMHREvolution：显微拉曼光谱仪（空间分辨率300nm）

BrukerDimensionIcon：原子力显微镜导电模式模块

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子注入检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。