检测项目

1.元素定量分析：检出限0.01ppm-10%，涵盖Li-U全元素周期表
2.晶体结构分析：晶格畸变率检测范围0.05%-5%
3.表面缺陷检测：最小可识别缺陷尺寸20nm
4.薄膜厚度测量：量程5nm-50μm，分辨率0.3nm
5.化学成分分布：空间分辨率达1μm1μm

检测范围

1.金属合金：包括不锈钢(304/316L)、钛合金(TC4/TA15)、高温合金(GH4169/K418)
2.半导体材料：硅晶圆(掺杂浓度1e15-1e20atoms/cm)、GaN外延片
3.光学镀膜：AR膜层(厚度公差2%)、ITO导电膜(方阻5-500Ω/□)
4.陶瓷复合材料：Al₂O₃-ZrO₂体系(孔隙率≤0.5%)、SiC/SiC纤维增强体
5.生物医学材料：钴铬合金人工关节(Co含量58-65%)、钛种植体表面氧化层

检测方法

ASTME1621-13(辉光放电光谱法金属元素分析)
ISO14707:2015(脉冲射频GD-OES深度剖析)
GB/T223.11-2008(钢铁及合金铬含量的测定)
GB/T4336-2016(碳素钢和中低合金钢火花源发射光谱法)
ISO18118:2015(表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱)

检测设备

1.ThermoScientificARL4460：全谱直读光谱仪，波长范围130-800nm
2.OxfordInstrumentsX-MET8000：手持式XRF，检出限达10ppm
3.HORIBAJobinYvonULTIMA2：ICP-OES系统，分辨率≤0.005nm
4.BrukerS8TIGERSeries2：WDXRF光谱仪，最大功率4kW
5.ShimadzuEDX-7000：能量色散型X射线荧光仪，Be窗探测器
6.Agilent7900ICP-MS：质量分辨率＞10,000，检出限ppt级
7.PerkinElmerOptima8300：双向观测ICP-OES，耐高盐雾化系统
8.HitachiEA1400X-ray荧光膜厚仪：测量精度0.1nm
9.GBCScientificOptimass9500：飞行时间质谱仪，质量范围1-10000amu
10.PANalyticalAxiosFAST：顺序式波长色散XRF，最大样品尺寸Φ52mm