靠近法线检测

检测项目

1.入射角范围：0-10，精度0.1，ASTME179标准

2.反射率偏差：波长400-1000nm内偏差≤0.5%

3.透射率均匀性：空间分辨率0.5mm0.5mm

4.表面散射系数：角度分辨率0.05，ISO13696规范

5.偏振敏感性：S/P偏振态分离度≥30dB

检测范围

1.光学玻璃基板（厚度0.1-50mm）

2.金属真空镀膜层（Al/Ag/Au等）

3.聚合物薄膜（PET/PC/PMMA）

4.半导体晶圆（Si/Ge/GaAs）

5.防反射涂层（AR/MgF2/SiO2）

检测方法

1.ASTME903-20：分光光度法测定镜面反射率

2.ISO13696:2002：激光散射法测量光学元件散射

3.GB/T26323-2010：光学功能薄膜近法向透射率测试

4.ISO14782:2019：塑料雾度与透光率测定

5.GB/T22453-2008：光学薄膜偏振特性测试规范

检测设备

1.PerkinElmerLambda1050+双光束分光光度计（波长175-3300nm）

2.J.A.WoollamM-2000D旋转补偿型椭偏仪（70入射角精度）

3.ShimadzuISR-2600积分球附件（150mm直径积分球）

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

5.AgilentCary7000全能型分光光度计（自动入射角调节机构）

6.ZygoNewView9000三维表面轮廓仪（RMS粗糙度测量）

7.OceanInsightFX系列光纤光谱仪（高速多通道采集）

8.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼系统（空间定位精度1μm）

9.Keysight85033E校准套件（矢量网络分析仪校准）

10.OptoEngineeringTC4M36远心镜头（0.02角度误差）