检测项目

1.环境可靠性测试:高温工作寿命测试,低温工作寿命测试,温度循环测试,温度冲击测试,湿热测试。

2.机械应力测试:机械冲击测试,变频振动测试,恒定加速度测试,键合强度测试,芯片剪切强度测试。

3.电气应力测试:静态高温栅偏测试,动态高温栅偏测试,热载流子注入测试,负偏压温度不稳定性测试,时变介质击穿测试。

4.封装可靠性测试:高压蒸煮测试,温度湿度偏压测试,高低温存储测试,可焊性测试,引脚完整性测试。

5.耐久性与寿命测试:通电循环测试,功率循环测试,数据保持力测试,擦写循环耐久性测试。

6.气候环境测试:盐雾测试,混合气体腐蚀测试,硫化氢腐蚀测试,二氧化硫腐蚀测试。

7.辐射可靠性测试:总剂量辐照测试,单粒子效应测试,剂量率效应测试。

8.失效分析测试:开封去盖,显微形貌观察,成分分析,热点定位,断面分析。

9.电性能参数监测:阈值电压漂移,漏电流变化,跨导衰减,导通电阻变化,功能参数漂移。

10.材料特性分析:薄膜应力测试,界面粘附力测试,金属迁移观察,介电层完整性评估。

检测范围

硅基半导体晶圆、化合物半导体外延片、集成电路芯片、存储器芯片、微处理器、模拟芯片、电源管理芯片、功率半导体器件、发光二极管芯片、光电探测器、微机电系统传感器、射频器件、先进封装互连结构、键合丝、封装基板、塑封料、芯片粘接材料、晶圆级封装器件、系统级封装模块、三维集成器件

检测设备

1.高温动态老化试验系统:用于在施加电偏压的条件下进行高温长时间工作寿命测试,模拟器件在实际应用中的老化过程。

2.高精度温湿度试验箱:提供精确控制的温度与湿度环境,用于进行温湿度偏压测试、高低温存储测试及湿热测试。

3.快速温度变化试验箱:实现极快的升降温速率,用于进行温度循环测试与温度冲击测试,考核材料热膨胀系数不匹配导致的应力。

4.气体腐蚀试验箱:创造可控浓度的混合腐蚀性气体环境,用于评估器件封装与内部结构的抗腐蚀能力。

5.精密半导体参数分析仪:用于在测试前后精确测量器件的各项直流与低频电学参数,监测其性能退化情况。

6.扫描电子显微镜:提供高分辨率的微观形貌观察,用于失效分析中的结构检查、断面分析及元素分布成像。

7.聚焦离子束系统:可对器件进行纳米级的精确定位切割与截面制备,同时具备成像和沉积功能,是失效分析的关键工具。

8.能量色散X射线光谱仪:与电子显微镜联用,用于对器件特定微小区域进行元素成分的定性与半定量分析。

9.红外热成像仪:用于非接触式测量器件在工作状态下的表面温度分布,定位过热或散热异常区域。

10.机械冲击与振动试验台:模拟产品在运输、安装及使用过程中可能遭遇的机械冲击与振动环境,考核其结构坚固性。