检测项目
轮廓算术平均偏差（Ra）：0.01-25μm
轮廓最大高度（Rz）：0.1-100μm
轮廓均方根偏差（Rq）：0.02-30μm
轮廓最大谷深（Rv）：0.05-50μm
轮廓单元平均宽度（Sm）：0.002-25mm
检测范围
金属加工件：发动机缸体、轴承滚道、齿轮齿面
陶瓷基板：电子封装基板、热障涂层
高分子材料：医疗导管内壁、光学镜片模具
复合材料：碳纤维增强构件、陶瓷基复合材料
涂层表面：PVD镀层、热喷涂涂层
检测方法
接触式轮廓法：ASTM D7127、ISO 4287、GB/T 3505
激光干涉法：ISO 25178-602、GB/T 39643
白光干涉法：ASME B46.1、GB/T 32453
原子力显微术：ISO 11039、GB/T 31227
比较样块法：GB/T 1031、GB/T 2523
检测设备
泰勒霍普森Surftest SJ-410：接触式轮廓仪，分辨率0.8nm
布鲁克ContourGT-K：白光干涉三维形貌仪，Z轴重复性0.01nm
奥林巴斯LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，横向分辨率120nm
三丰Surftest SJ-210：多参数轮廓仪，符合ISO 4288标准
基恩士VK-X1000：3D表面分析系统，支持ISO 25178参数组