检测项目
介电常数测量：频率范围1kHz-1MHz，精度±0.5%
体积电阻率测定：测试电压100V-1000V，量程10^6-10^16 Ω·cm
表面电位衰减分析：衰减时间0.1s-3600s，分辨率±5V
电荷密度检测：测量范围10^-9-10^-4 C/m²，误差≤3%
极化强度测试：电场强度0.1-10kV/mm，温度范围-40℃-150℃
检测范围
高分子材料：聚四氟乙烯、聚乙烯、聚酰亚胺薄膜
金属及合金：铝基复合材料、304不锈钢、铜镍合金
陶瓷材料：氧化铝陶瓷、氮化硅基板、压电陶瓷
半导体材料：硅晶圆、GaN基板、碳化硅器件
复合材料：碳纤维增强塑料、玻璃纤维层压板
检测方法
ASTM D150-18：固体电绝缘材料交流损耗特性及介电常数标准试验方法
IEC 62631-3-1:2016：固体绝缘材料介电和电阻特性测量规范
GB/T 1410-2006：固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法
ISO 1853:2018：导电橡胶材料体积电阻率测定
GB/T 1692-2008：硫化橡胶绝缘电阻率测定
检测设备
Keysight 4294A精密阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz，支持四端对测量
Keithley 6517B静电计：测量范围10fA-20mA，最大输入阻抗2×10^14Ω
Trek 347型静电电位计：量程±20kV，空间分辨率0.1mm
Agilent E4980A LCR表：基本精度0.05%，支持DC bias功能
ESPEC PCT-322气候箱：温度范围-70℃-180℃，湿度控制10-98%RH