检测项目
轮廓算术平均偏差（Ra）：0.025-6.3μm
微观不平度十点高度（Rz）：0.1-25μm
轮廓均方根偏差（Rq）：0.02-8.0μm
最大轮廓峰谷高度（Rt）：0.05-50μm
最大单点高度（Rmax）：0.01-30μm
检测范围
金属材料：汽车发动机缸体、轴承滚道等
高分子材料：医疗器械表面、密封件
陶瓷材料：半导体晶圆、切削刀具涂层
精密零件：液压阀芯、光学导轨
光学元件：镜头模组、激光反射镜
检测方法
接触式轮廓法：ASTM E1155、ISO 4287、GB/T 3505
非接触式光学法：ISO 25178、GB/T 33523
比较样块法：ISO 8503-1、GB/T 6060.2
显微镜分析法：ASTM F1811、GB/T 10610
激光扫描法：ISO 13565-2、GB/T 12472
检测设备
泰勒霍普森Surftest SJ-410：接触式轮廓仪，量程±800μm，分辨率0.8nm
布鲁克Contour GT-K：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm，扫描面积10×10mm
奥林巴斯OLS5000：激光共聚焦显微镜，Z轴精度±0.5μm，放大倍率10800×
基恩士VK-X1000：3D表面形貌仪，测量速度10ms/点，支持ISO 25178参数组
三丰Surftest SV-3200：便携式粗糙度仪，符合JIS B0601-2001标准