低温等离子体检测

检测项目

电子密度：10⁹-10¹² cm^-3

电子温度：1-5 eV

气体温度：300-1000 K

活性粒子浓度（O·/OH·）：10¹⁵-10¹⁷ cm^-3

表面接触角变化率：±30°

检测范围

高分子材料：聚乙烯（PE）、聚四氟乙烯（PTFE）等表面改性层

金属材料：铝合金阳极氧化膜层、不锈钢钝化层

医疗器械：导管/植入物灭菌效果验证

半导体器件：晶圆刻蚀均匀性评估

纺织品：纤维表面亲/疏水性改性层

检测方法

ASTM E3061-17 等离子体电子密度测量规范

ISO 22007-3:2008 热探针法测定气体温度

GB/T 39144-2020 低温等离子体发射光谱分析方法

ISO 10993-7:2008 医疗器械灭菌残留物检测

GB/T 24369.1-2018 金属表面处理层厚度测量

检测设备

Langmuir探针系统（ESPion-256）：实时测量电子密度/温度分布

光学发射光谱仪（Avantes AvaSpec-ULS2048CL）：活性粒子浓度分析

四极质谱仪（Hiden HPR-60）：气体成分在线监测