检测项目
1.平面度偏差检测：整体平面度，局部平面度，指定区域平面度。
2.直线度检测：边缘直线度，表面指定方向直线度。
3.平行度检测：两平面间平行度，表面与基准轴线的平行度。
4.垂直度检测：被测表面与基准平面的垂直度。
5.角度与倾斜度检测：平面间的夹角，平面相对于水平面的微倾斜角。
6.圆度与圆柱度检测：圆形端面的平面度，圆柱体端面的平整情况。
7.轮廓度检测：表面微观轮廓与理想平面的符合程度。
8.位置度检测：平面上特定孔位或特征相对于基准的位置精度。
9.跳动检测：端面跳动，全跳动。
10.平面度波动分析：表面平整度的周期性波动评估。
11.表面波纹度检测：介于宏观平整度与微观粗糙度之间的波形误差。
12.平面间隙检测：模拟装配状态下，两配合平面间的间隙分布。
13.装配模拟平面度检测：在预紧力或负载下，平面度的变化情况。
14.热变形平面度检测：在温度场变化下，平面度的稳定性测试。
检测范围
金属板材、机械加工件、冲压件、铸造件、模具模板、精密导轨、轴承座、发动机缸体、变速箱壳体、液压阀板、光学平台、半导体晶圆载具、大型结构件基板、焊接平台、精密测量平台、真空腔体面板、复合材料板
检测设备
1.三坐标测量机：通过接触式探针精准获取表面大量点的三维坐标，经软件拟合计算整体平面度及各项形位公差；具备高精度、可编程及自动化测量能力。
2.激光平面度仪：利用激光束与光电接收器，非接触测量大尺寸平面的平整度偏差；适用于现场快速检测和长距离测量。
3.光学平板：作为基准平面，通过观察干涉条纹（平晶）或与标准刀口尺的透光间隙，定性或半定量评估工件表面的平面度。
4.数字水平仪：内置高精度电子倾角传感器，用于测量平面相对于水平面的微小倾角及平面度；便于携带和现场使用。
5.花岗岩平台与桥板：配合电子水平仪或自准直仪，通过节距法测量大平面的平面度；利用高稳定性的花岗岩平台作为测量基准。
6.轮廓测量仪：通过高精度位移传感器沿直线扫描，获取表面轮廓曲线，用于分析直线度、角度及微观轮廓形状。
7.圆度圆柱度仪：专用于精密旋转体工件，可高精度测量端面的平面度以及圆度、圆柱度等参数。
8.激光跟踪仪：利用激光干涉测距和角度编码，对大尺度空间内的平面特征进行高精度三维测量，适用于超大工件现场检测。
9.白光干涉仪：基于光学干涉原理，非接触测量表面三维形貌，可对平面度进行纳米级精度的微观评估与分析。
10.影像测量仪：利用光学放大和数字图像处理技术，对平面工件上的二维特征尺寸和位置度进行快速测量，适用于薄型件。