检测项目
1.表面粗糙度：算术平均偏差，最大高度，十点高度，轮廓单元平均宽度。
2.表面波纹度：波纹度高度，波纹度间距，波纹度轮廓，波纹度平均高度。
3.几何形状参数：直线度，圆度，倾斜度，位置度。
4.阶梯与深度：台阶高度，沟槽深度，盲孔深度，沉头孔深度。
5.角度与弧度：表面倾角，圆弧半径，倒角尺寸，锥度分析。
6.间距与宽度：螺纹牙型，栅格间距，特征宽度，缝隙尺寸。
7.磨损分析：体积磨损量，表面磨损轮廓，损伤深度，磨损痕迹宽度。
8.变形评估：热变形量，受力形变量，翘曲度，平整度偏差。
9.涂层特性：涂层厚度，表面平整度，附着面形貌，涂层均匀性。
10.表面缺陷：划痕深度，凹坑尺寸，突起高度，裂纹宽度。
检测范围
精密齿轮、光学镜头、半导体晶圆、活塞环、手表配件、医疗植入物、陶瓷基板、轴承滚子、模具型腔、密封垫片、微机电系统、燃气轮机叶片、电路板焊盘、连接器插针、喷油嘴、活塞销、曲轴颈、气阀座、刹车盘、人工关节
检测设备
1.触针式轮廓测量仪：通过物理接触扫描获取表面起伏，用于测量粗糙度和宏观轮廓。
2.激光位移传感器：利用激光反射原理记录高度变化，适用于非接触式的快速轮廓采集。
3.白光干涉测量系统：基于光波干涉现象测量微纳米级的表面形貌，具备极高的垂直分辨率。
4.激光共聚焦扫描仪：通过逐点扫描获取高对比度图像，用于分析复杂微观结构的深度。
5.结构光三维扫描仪：投射特定光栅条纹并拍摄变形情况，实现大面积表面的轮廓重构。
6.影像测量仪：利用光学镜头与图像传感器，通过像素分析获取零件的二维轮廓特征。
7.气动量仪：通过空气压力变化间接反映内孔或圆柱表面的轮廓偏差，检测效率较高。
8.三坐标测量机：结合高精度测头在三维空间内取点，精确评估大型复杂件的轮廓公差。
9.超声波测厚仪：利用声波反射特性测量材料厚度分布，揭示内部及表面轮廓状态。
10.电子显微形貌分析系统：在高放大倍率下观察表面微观轮廓，用于分析微观形貌缺陷。