检测项目
等离子体密度：1×10^9~1×10^12 cm^-3
电子温度：1~5 eV
气体温度：300~600 K
离子能量分布：10~100 eV
表面接触角变化：20°~120°
自由基浓度：1×10^14~1×10^16 cm^-3
检测范围
高分子材料：聚乙烯(PE)、聚四氟乙烯(PTFE)
金属材料：钛合金、不锈钢
医疗器械：导管、植入物
电子元件：半导体晶圆、柔性电路板
纺织品：功能性纤维织物
检测方法
ASTM D7334-08 表面润湿性测定
ISO 14624-5 等离子体发射光谱分析
GB/T 16594-2008 微米级长度扫描电镜法
ASTM E3061-17 等离子体诊断规程
GB/T 39234-2020 表面自由基浓度测定
ISO 21237:2019 低温等离子体工艺验证
检测设备
Langmuir探针系统（ESPion-200）：实时测量电子温度与密度
光学发射光谱仪（AvaSpec-ULS2048CL）：分析激发态粒子组成
接触角测量仪（OCA25）：表面能变化定量分析
四极质谱仪（Hiden HPR-60）：气体成分在线监测
原子力显微镜（Bruker Dimension Icon）：纳米级表面形貌表征
X射线光电子能谱仪（Thermo Scientific K-Alpha+）：化学键态分析