可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型典型应用场景主要检测项目常用方法 / 参考
MEMS微机电结构微加速度计、微陀螺仪、微夹持器、微镜驱动结构设计与工艺验证微弹簧刚度、微悬臂梁弹性特性、结构断裂力、谐振频率与品质因数、疲劳退化微力试验机加载配合激光位移测量；GB/T 2611-2022《试验机 通用技术要求》
单根化学短纤维涤纶、锦纶、腈纶、碳纤维等单丝力学性能评价与工艺筛选单纤维断裂强力（μN至cN级）、断裂伸长率、初始模量、定伸长应力GB/T 14337-2022《化学纤维 短纤维拉伸性能试验方法》
键合丝与互连线半导体封装金丝、铜丝、铝丝键合质量与工艺窗口确认键合线拉脱力、键合点剪切力、热影响区强度、失效模式判定GJB 548B-2005《微电子器件试验方法和程序》方法2011键合强度
薄膜与涂层硬质涂层、光学薄膜、半导体薄膜的本征力学性能表征纳米压入硬度、压入模量、载荷-位移曲线、保载蠕变特性、界面结合评价ISO 14577-1:2015仪器化压痕试验；仪器化纳米压入相关国家标准
电推进与微推进器件卫星电推进器、微推进器推力标定与性能评价微推力（μN至mN级）、推力分辨率、推力噪声与响应时间、比冲换算扭秤法、精密天平法与倒摆法测量，参照航天器电推进试验相关规范
生物与轻质微结构单细胞力学、毛发与绒毛单丝、微针阵列、组织工程支架细胞黏附力、单丝拉伸力、微针刺穿力、压缩刚度原子力显微镜微悬臂测力；微力传感与位移传感联用
精密弹性元件仪器用微型弹簧、弹性合金件、柔性铰链、膜片刚度（N/m级）、力值线性度、滞后回差、刚度分散性与疲劳退化GB/T 16491-2022电子式万能试验机微力量程配置；激光位移计同步采集

检测项目

1. 微小力值测量：量程0.1μN至500mN，力值分辨率可达nN级，示值误差不超过±0.5%

2. 微弹簧与微结构刚度：0.01至1000N/m，位移分辨率0.01μm，非线性度不大于1%FS

3. 单纤维断裂强力：0.1mN至50cN，夹持隔距10至20mm，伸长测量误差不超过±2%

4. 键合线拉脱力：金丝Φ25μm典型断裂力50至200mN，同步记录失效模式

5. 纳米压入载荷控制：峰值载荷10μN至500mN，保载时间5至120s可设

6. 微推力测量：0.1μN至100mN，测量不确定度一般控制在10%以内

检测范围

1. MEMS器件：微加速度计、微陀螺仪、微夹持器、微镜驱动弹性结构

2. 电子封装互连：金丝、铜丝、铝丝键合线及焊点互连结构

3. 纤维材料：单根短纤维、长丝单丝、碳纤维单丝、动物毛纤维

4. 薄膜涂层：硬质耐磨涂层、光学薄膜、半导体功能薄膜

5. 精密元器件：仪器微弹簧、弹性合金元件、柔性铰链与膜片

6. 微推进组件：电推进推力器、冷气微推力器推力标定

检测方法

1. GB/T 14337-2022 化学纤维 短纤维拉伸性能试验方法（单根纤维μN至cN级强力测定）

2. GJB 548B-2005 微电子器件试验方法和程序 方法2011键合强度试验

3. ISO 14577-1:2015 金属材料 仪器化压痕试验 第1部分：试验方法（载荷分辨率nN级）

4. GB/T 16491-2022 电子式万能试验机（微力量程机型的力值指示与校验依据）

5. GB/T 2611-2022 试验机 通用技术要求（微力加载系统的通用技术条件）

检测设备

1. 仪器化纳米压痕仪：载荷范围10μN至500mN，载荷分辨率1nN，位移分辨率优于0.1nm

2. 高精度微力试验机：载荷量程0至500mN，力值分辨率优于1μN，位移分辨率0.05μm

3. 单纤维强伸度仪：力量程0至100cN，分辨率0.01cN，夹持隔距可调

4. 键合强度测试仪：微力量程50mN至10N，载荷分辨率0.1mN，配置气动夹持

5. 原子力显微镜：微悬臂力常数0.01至100N/m，测力分辨率优于1nN

6. 微推力测量平台：扭秤与精密天平复合结构，推力分辨率0.1μN

7. 微力测力传感器：量程±10mN，非线性0.02%FS，温度漂移低

8. 激光位移传感器：分辨率0.01μm，量程±100μm，用于微结构变形同步采集

9. 微量天平：可读性0.1μg，用于质量法微小力值溯源

10. 恒温隔振平台：固有频率1Hz以下，温控±0.1℃，抑制环境干扰