检测项目
差动压力范围：0.1kPa~100MPa（分辨率±0.05%FS）
温度稳定性：-40℃~150℃环境下的灵敏度漂移量（≤±0.3%/℃）
线性度误差：全量程范围内输出曲线偏离度（≤±0.1%FS）
重复性误差：连续10次加载/卸载循环偏差（≤±0.05%FS）
响应时间：阶跃信号达到90%稳态值所需时长（≤5ms）
检测范围
压阻式/电容式压力传感器核心元件
液压系统密封件与传动部件
精密仪器用微机电系统（MEMS）芯片
医疗设备压力感应膜片
汽车电子ABS/ESP控制模块
检测方法
ASTM E4-2023《力校准装置的验证规程》
ISO 376:2011《测力仪的校准与分级》
GB/T 1226-2017《一般压力表》动态响应测试条款
GB/T 15478-2015《压力传感器性能试验方法》第5.3节差动特性试验
IEC 60770-3:2014《工业过程控制系统用变送器性能评定方法》
检测设备
Mensor CPC8000全自动压力控制器：量程覆盖0.01Pa~70MPa，精度±0.005%读数
Fluke 754过程校准器：支持4-20mA/0-10V信号模拟与采集（分辨率0.001%）
Keysight 34972A数据采集系统：6½位高精度测量，最大采样率1MHz
Instron 8802液压伺服试验机：动态载荷频率范围0.001~100Hz
Tescan MIRA3扫描电镜：微结构形变观测（分辨率3nm@30kV）