检测项目
痕量元素定量分析（检出限：0.01-100 ppb）
同位素丰度比测定（精度：±0.001%）
有机化合物分子量测定（质量范围：50-3000 Da）
多元素同步扫描分析（同时检测元素数≥30）
表面污染物深度剖析（深度分辨率：5 nm）
检测范围
高纯金属材料（纯度≥99.999%）
半导体晶圆表面污染物
地质样品同位素组成
生物医药中的代谢产物
环境样品持久性有机污染物
检测方法
ASTM E3047-22《双聚焦质谱法测定高纯材料痕量杂质》
ISO 18114:2021《表面化学分析-二次离子质谱法》
GB/T 32266-2015《高分辨质谱分析方法通则》
GB/T 40129-2021《表面化学分析-辉光放电质谱法》
ISO 21362:2019《纳米技术-纳米颗粒表征的质谱方法》
检测设备
Thermo Fisher Scientific Neptune XT（多接收器系统，质量分辨率≥20000）
Shimadzu ICPMS-2040/HS（高频发生器频率：27.12 MHz）
Agilent 8900 Triple Quadrupole LC/MS（碰撞池压力：1-10 mTorr）
PerkinElmer NexION 5000（四极杆质量过滤器带宽：0.3-3.0 amu）
JEOL JMS-T200GC AccuTOF（飞行管长度：2.5 m）