检测项目
电子密度测量：10⁹-10¹³ cm⁻³量程范围
电子温度分析：0.1-20 eV能量分辨率
离子能量分布：0-500 eV能量带宽
等离子体电位：±50 V测量精度
活性基团浓度：O·/N·/H·等自由基定量检测
检测范围
半导体晶圆刻蚀工艺腔体
磁控溅射镀膜设备等离子区
常压介质阻挡放电装置
微波ECR等离子体发生器
低温等离子体灭菌设备
检测方法
Langmuir探针法：ASTM E3053-16标准
光谱发射法：ISO 21258:2010规范
微波干涉法：GB/T 23414-2009要求
质谱分析法：ASTM E1504-11规程
激光诱导荧光法：ISO 20762:2017标准
检测设备
Hiden ESPion Langmuir探针系统：实时测量电子密度与温度分布
Ocean Optics HR4000高分辨率光谱仪：200-1100nm波长范围光谱采集
Keysight N5247A矢量网络分析仪：2-50GHz微波干涉测量
Hiden EQP 300质谱仪：1-300amu质量数范围粒子分析
TSI 6100激光诱导荧光系统：ArF准分子激光激发荧光信号