检测项目
几何精度：直线度误差≤2μm/m，平面度误差≤3μm/400mm
重复定位精度：XYZ轴向标准差≤±1.5μm（3σ）
运动轴间垂直度：偏差≤5角秒/300mm行程
定位系统分辨率：光栅尺分辨率≤0.1μm
温度漂移系数：ΔL/(L·ΔT)≤0.8ppm/℃（20-25℃）
检测范围
数控机床：主轴箱、工作台导轨系统
工业机器人：六轴关节重复运动轨迹
半导体设备：光刻机晶圆台定位系统
光学仪器：显微平台XY移动机构
医疗器械：放射治疗床三维定位机构
检测方法
ASTM E2309-22：线性位移测量系统校准规范
ISO 9283:2021：工业机器人性能测试标准
GB/T 17421.2-2022：数控机床检验通则第2部分
ISO 230-6:2020：机床测试条件第6部分
GB/T 16857.7-2017：产品几何量技术规范（GPS）
检测设备
三坐标测量机：Hexagon Croma Plus 7.10.7（空间误差补偿精度0.6+L/350μm）
激光干涉仪：Renishaw XL-80（线性测量分辨率0.001μm）
电子水平仪：WYLER Clinomic 720（角度分辨率0.001°）
球杆仪：API XD Laser（动态圆度测试精度±0.25μm）
多自由度测量系统：Etalon LaserTRACER MT（6D误差同步测量）