检测项目
1.频率响应范围：测量系统在5Hz至10kHz范围内的幅频特性曲线
2.相位延迟精度：量化输入输出信号相位差（0.1分辨率）
3.振幅线性度：验证0.1μm至5mm位移范围内的线性误差（≤1.5%）
4.共振峰识别：捕捉20-2000Hz频段内Q值≥50的共振点
5.噪声基底测试：评估本底噪声水平（典型值≤0.05μm/√Hz）
检测范围
1.高精度光学反射镜组件（口径≥300mm）
2.半导体晶圆传输机械臂（重复定位精度≤1μm）
3.5G通信射频滤波器（工作频率3.5-28GHz）
4.航空液压伺服阀（压力范围0-35MPa）
5.新能源汽车电机控制器（功率模块IGBT）
检测方法
1.ISO16063-11:2021《振动与冲击传感器校准方法》
2.ASTME1875-20《机械冲击试验标准规范》
3.GB/T30186-2013《电子设备随机振动试验方法》
4.IEC60068-2-64:2019《宽频随机振动试验规范》
5.GB/T2423.10-2019《电工电子产品环境试验第2部分：振动试验》
检测设备
1.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪（非接触式测量，频响DC-25MHz）
2.B&K4524-B-001三轴振动台（最大加速度100g，位移峰峰值25mm）
3.Keysight35670A动态信号分析仪（4通道同步采集，160dB动态范围）
4.TIRAS51100电动振动系统（推力35kN，频率范围5-3000Hz）
5.NIPXIe-4499数据采集卡（24位分辨率，204.8kS/s采样率）
6.PCB352C33加速度传感器（灵敏度100mV/g，量程50g）
7.Agilent33522B函数发生器（80MHz带宽，16位垂直分辨率）
8.OROSOR38动态分析仪（36输入通道，实时倍频程分析）
9.Kistler8692C5模态力锤（量程5000N，不锈钢冲击头）
10.GRAS46AE相位匹配麦克风（频率响应3Hz-20kHz1dB）