检测项目

1.金属元素全谱分析（Li-U元素覆盖范围，检出限0.01-10ppm）

2.痕量杂质定量（B、P、S等轻元素检测限达0.1ppb）

3同位素比值测定（精度0.005%，适用于地质年代学研究）

4.表面镀层成分分析（深度分辨率≤5nm）

5.非金属夹杂物表征（粒径＞0.5μm的氧化物/硫化物识别）

检测范围

1.高温合金材料（镍基/钴基合金中Al、Ti、Ta含量监测）

2.半导体晶圆（SiC/GaN晶片中金属污染控制）

3.核工业材料（铀燃料棒中Gd、Hf中子毒物分析）

4.考古金属文物（青铜器腐蚀产物的元素分布研究）

5.环境颗粒物（PM2.5中重金属污染溯源）

检测方法

ASTME1507-17《火花源质谱法测定金属中痕量元素》

ISO18114:2021《表面化学分析-二次离子质谱-火花源校准方法》

GB/T20127-2006《钢铁材料痕量元素的火花源质谱分析方法》

GB/T3884.15-2023《铜精矿化学分析方法第15部分：火花源质谱法》

JISH1631:2020《钛合金火花源质谱试验通则》

检测设备

1.ThermoScientificElementGDPlus：配备射频辉光放电离子源，支持脉冲模式深度剖析

2.HORIBAGD-Profiler2：集成光学发射光谱联用系统，实现原位成分分布成像

3.SPECTROMS-SPARK：六极杆碰撞反应池技术消除Ar干扰离子

4.NuInstrumentsAstrum：双聚焦磁质谱仪（质量分辨率＞10,000）

5.JEOLJSA-8530FPlus：场发射电子枪配合WDS/EDS联用系统

6.CAMECAIMS7f-Auto：全自动样品台支持批量连续测试

7.LECOGDS850A：高能预燃技术优化基体效应抑制

8.Agilent8900ICP-MS/MS：三重四极杆质谱联用系统

9.BrukerAuroraM90：飞行时间质谱仪（质量范围1-270amu）

10.ShimadzuSIMS-9030：二次离子质谱与火花源复合电离系统