检测项目
1. 频率响应范围：20Hz-100kHz (±0.5dB)
2. 线性度误差：≤±0.3%FS（满量程）
3. 信噪比阈值：≥85dB@1kHz
4. 温度漂移系数：±5ppm/℃
5. 相位一致性：±1°@10kHz
6. 动态范围：120dB（A计权）
7. 横向灵敏度比：≤3%
检测范围
1. MEMS加速度计：硅基微机电系统传感器
2. 压电陶瓷换能器：PZT-5H型压电材料
3. 光纤布拉格光栅：波长位移灵敏度0.1pm/με
4. 金属应变片：康铜箔式应变计（栅长2mm）
5. 电容式麦克风：驻极体极化电压200V
6. 磁致伸缩传感器：Terfenol-D合金材料
检测方法
1. ASTM E2309-05(2020)：压电材料阻抗特性测试
2. ISO 16063-21:2022：振动传感器激光干涉法校准
3. GB/T 13823.3-2019：振动与冲击传感器互易法校准
4. IEC 61094-5:2016：测量传声器压力场灵敏度测定
5. JJG 233-2008：压电加速度计检定规程
6. ISO 5347-8:2020：应变计横向灵敏度测试方法
检测设备
1. 动态信号分析仪：Keysight 35670A（0.001Hz-102.4kHz）
2. 激光干涉仪：Polytec OFV-5000（位移分辨率0.1nm）
3. 精密振动台：B&K LDS V964（最大加速度100g）
4. 恒温恒湿箱：ESPEC SH-261（温控±0.1℃）
5. 六维力传感器：ATI Gamma SI-130-10（量程130N）
6. 声学耦合腔：B&K 4220（频率范围20Hz-20kHz）
7. 数字电桥：HIOKI IM3536（LCR测量精度0.05%）
8. 三坐标测量机：Hexagon Global Classic（空间精度1.2μm）
9. 频谱分析仪：Rohde & Schwarz FSW67（分析带宽500MHz）
10. 静电激励器：B&K 4810（最大静电力50N）