检测项目
1.响应时间：测量系统从初始状态达到稳定输出90%所需时间（单位：ms）
2.灵敏度：输入信号变化量与输出信号变化量比值（单位：mV/Pa）
3.线性度：输出信号与输入信号线性相关系数R≥0.998
4.重复性：连续10次测量结果相对标准偏差≤0.5%
5.温度漂移：在-40℃~85℃范围内输出值变化率≤0.02%/℃
检测范围
1.MEMS压力传感器：压阻式/电容式结构件
2.光电探测器：InGaAs/Si基光电二极管阵列
3.压电陶瓷元件：PZT-5H/PZT-8型换能器
4.热释电材料：LiTaO3单晶薄膜器件
5.磁致伸缩材料：Terfenol-D合金棒材
检测方法
1.ASTME2592-22《光学探测器绝对响应度测试规程》
2.ISO13472-1:2022《声学材料声响应特性测量方法》
3.GB/T2423.22-2012《电工电子产品环境试验温度变化试验》
4.IEC60747-5-3:2020《半导体器件分立器件第5-3部分》
5.GB/T17626.4-2018《电磁兼容试验和测量技术》
检测设备
1.KeysightB2902A精密源表：0.1fA分辨率电流测量
2.FLIRX8580红外热像仪：12801024像素@200Hz帧频
3.PolytecMSA-650微系统分析仪：10MHz带宽振动测量
4.Agilent33500B信号发生器：80MHz正弦波输出
5.TektronixMDO3104示波器：1GHz带宽混合域分析
6.ESPECSH-642恒温恒湿箱：-70℃~150℃温控范围
7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.1nm垂直分辨率
8.Chroma19032电源负载机：1200V/240A动态测试
9.OmicronBode100频响分析仪：10μHz至40MHz扫频
10.NIPXIe-5162数字化仪：14位分辨率@5GS/s采样率