检测项目
1.几何尺寸公差：线性尺寸0.01mm至0.001mm，角度公差30''至5''
2.表面粗糙度：Ra0.1μm-6.3μm，Rz0.5μm-25μm
3.圆度/圆柱度误差：允许偏差0.005mm-0.05mm
4.平行度/垂直度：基准面偏差≤0.02mm/m
5.轮廓度测量：三维轮廓偏差0.015mm
检测范围
1.金属切削件：包含铝合金、钛合金等航空级精密零件
2.光学元件：透镜、棱镜等光学表面面形精度
3.注塑模具：型腔尺寸重复性0.005mm
4.PCB基板：线路蚀刻精度10μm
5.轴承组件：滚道圆度≤0.0015mm
检测方法
1.ASTME177-20测量不确定度评定规范
2.ISO1101:2017几何产品规范(GPS)
3.GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测规定
4.ISO4287:1997表面粗糙度参数定义
5.GB/T1800.1-2020极限与配合基础
检测设备
1.三坐标测量机MitutoyoCRYSTA-ApexS：测量精度(1.9+L/250)μm
2.激光干涉仪RenishawXL-80：线性测量分辨率0.001μm
3.轮廓仪TaylorHobsonFormTalysurfi120：曲面测量精度0.02μm
4.圆度仪TokyoSeimitsuRA-2200：径向测量误差≤0.025μm
5.白光干涉仪ZygoNewView9000：垂直分辨率0.1nm
6.影像测量仪OGPSmartScopeZIP450：光学放大倍率220X
7.激光跟踪仪LeicaAT960：空间坐标测量精度15μm+6μm/m
8.粗糙度仪MahrMarSurfPS10：触针半径2μm，测力0.75mN
9.关节臂测量机HexagonAbsoluteArm7Axis：便携式三维测量精度0.025mm
10.X射线断层扫描仪NikonXTH225：体素分辨率<3μm