检测项目
表面曲率半径偏差（0.05μm）
反射率均匀性（≤1.5%）
入射角响应范围（15-85）
偏振敏感度（ΔR/R＜0.8%）
波长适应性（400-1600nm）
检测范围
高精度光学玻璃透镜
金属镀膜曲面反射镜
聚合物复合薄膜材料
微结构衍射元件
航天器热控涂层
检测方法
ASTME430-21曲面反射率测定标准方法
ISO13696:2022光学元件散射特性测试规范
GB/T26331-2010光学薄膜反射特性测试方法
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评估标准
GB/T13384-2008航天器热控涂层性能测试规范
检测设备
ZYGOVerifireHDX激光干涉仪（曲率半径测量精度0.02μm）
BrukerContourElite白光干涉仪（三维形貌分辨率0.1nm）
ShimadzuISR-2600积分球光谱仪（反射率测量范围200-2500nm）
NewportOrielApex偏振分析系统（偏振精度0.05）
OceanInsightHDX-VIS-NIR光纤光谱仪（波长分辨率0.3nm）
KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜（三维粗糙度分析）
ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪（红外反射特性分析）
AgilentCary7000全能型分光光度计（入射角自动扫描系统）