检测项目
1.电极间距均匀性：测量精度0.01mm，允许偏差≤5%
2.导电层厚度：测试范围0.1-500μm，分辨率0.05μm
3.接触电阻：量程0.1mΩ-10Ω，重复性误差＜1%
4.表面粗糙度：Ra值测定范围0.05-10μm
5.热膨胀系数：温度范围-40℃~300℃，精度0.5ppm/℃
检测范围
1.锂离子电池正/负极片（钴酸锂、磷酸铁锂等）
2.燃料电池双极板（石墨基/金属基复合材料）
3.超级电容器集流体（铝箔/铜箔基材）
4.MEMS传感器微电极阵列（硅基/陶瓷基）
5.电化学工作站工作电极（玻碳/铂金电极）
检测方法
1.ASTMF3163-2021导电薄膜接触电阻测试标准
2.ISO1853:2018导电橡胶体积电阻率测定法
3.GB/T24525-2009金属基复合材料界面结合强度试验方法
4.IEC62660-2:2018动力电池电极特性测试规范
5.GB/T38823-2020燃料电池双极板技术条件
检测设备
1.Keysight34461A数字万用表：6位分辨率，支持四线制电阻测量
2.MitutoyoLitematicVL-50测厚仪：激光位移传感器精度0.15μm
3.ZEISSSigma500场发射电镜：配备EDS能谱分析模块
4.NetzschDIL402C热膨胀仪：最高温度1600℃，膨胀量分辨率0.125nm
5.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz
6.TaylorHobsonFormTalysurfPGI三维轮廓仪：纵向分辨率0.8nm
7.HiokiRM2610微电阻计：最小分辨率0.01μΩ
8.Instron5967万能试验机：载荷精度0.5%示值
9.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
10.MettlerToledoXP26微量天平：可读性0.0025mg