检测项目
重复性误差：0.002mm@20℃恒温环境
线性度误差：≤0.05%FS（满量程）
迟滞误差：1.5μm/10N载荷循环
温度漂移系数：0.0015%/℃（-10℃~50℃）
动态响应误差：3σ≤0.8%@100Hz采样频率
检测范围
金属材料：钛合金/铝合金/不锈钢精密加工件
电子元件：MEMS传感器/高精度电阻/晶振器件
光学器件：激光干涉仪棱镜/光纤连接器端面
量具仪表：千分尺/压力变送器/数显扭矩扳手
复合材料：碳纤维层压板/陶瓷基封装外壳
检测方法
ASTME2309-05(2020)：静态线性误差校准规程
ISO/IEC17025:2017：测量不确定度评定方法
GB/T1800.1-2020：极限与配合基础规范
ISO5725-2:2019：测量方法与结果的准确度验证
GB/T16857.6-2017：坐标测量机动态性能测试
检测设备
三坐标测量机MitutoyoCRYSTA-ApexS：空间精度(1.8+L/250)μm
激光干涉仪RenishawXL-80：线性测量分辨率0.001μm
万能试验机Instron5982：载荷精度0.5%示值@1N-100kN
高低温试验箱ESPECSH-642：温控波动度0.3℃(-70℃~150℃)
动态信号分析仪Brel&Kjr3560-C：频率范围0.1Hz-25.6kHz
表面轮廓仪TaylorHobsonFormTalysurfi120：垂直分辨率0.8nm
六维力传感器ATIOmega160：各向间耦合误差≤1.2%
恒流源KeysightB2901A：电流输出稳定性10ppm/℃
振动校准系统PCB394C06：加速度计灵敏度校准0.5dB
数字示波器TektronixMSO64B：12bitADC@6.25GS/s采样率