检测项目
1.扫描分辨率：测量最小可识别特征尺寸（0.1μm-10mm）
2.速度稳定性：评估连续扫描时速度波动率（0.5%-5%）
3.动态重复精度：测定重复扫描同一路径的位置偏差（≤3μm）
4.加速度响应：记录从静止到标称速度的时间常数（0.1-5ms）
5.同步误差：检测多轴联动时的时序偏差（≤10μs）
检测范围
1.工业CT扫描系统的旋转载物台
2.激光三维扫描仪的平移导轨组件
3.半导体晶圆检测设备的精密运动平台
4.医疗CT机的机架旋转系统
5.自动化光学检测(AOI)设备的线性模组
检测方法
ASTME2919-14非接触式光学测量系统性能评价标准
ISO10360-7坐标测量机动态特性测试规范
GB/T26103.3-2010数控机床运动性能测试方法
ISO9283-2018工业机器人性能测试标准
GB/T34879-2017精密加工中心动态精度检验规范
检测设备
1.KeyenceLJ-V7000系列高速激光扫描仪：采样频率100kHz，Z轴分辨率0.1μm
2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm，最大速度4m/s
3.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：频率范围DC-25MHz，速度分辨率1μm/s
4.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：XYZ精度(1.9+4L/1000)μm
5.Micro-EpsilonscanCONTROL2900-100激光轮廓仪：2048点/轮廓，扫描速率40kHz
6.SIOSSP-2000激光干涉仪：位移分辨率0.1nm，最大测量速度8m/s
7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：动态跟踪速率1000Hz
8.ZygoZPS干涉定位系统：亚纳米级位移测量精度
9.NikonLC60Dx激光雷达：360扫描速率100rpm
10.MitutoyoLH-600高精度测长机：最大速度500mm/s，分辨率0.01μm