流化床法颗粒硅氢含量的测定检测标准

标准号：GB/T 40566-2021

标准名称：流化床法颗粒硅　氢含量的测定　脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

适用范围：本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。本文件适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定，其他硅材料参照使用。注： 本文件测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程，最大测定范围为氢量0.000 08 mg～2.5 mg。以质量分数(%)表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如，1 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 008%～0.25%;0.15 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 06%～1.66%。

英文名称：Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

发布日期：2021-10-11

实施日期：2022-05-01

出版语种：中文简体

标准ICS号：29.045

中标分类号：H82

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

提出部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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