检测项目
泄漏率测试：1×10⁻⁶~1×10⁻¹² Pa·m³/s（分6个量程段）
压力保持测试：0.5~40 MPa（保压时间≥30min）
真空衰减测试：极限真空度≤5×10⁻⁴ Pa
温度循环测试：-40℃~150℃（温变速率≥5℃/min）
响应时间测试：≤3s（氦气浓度达到90%示值）
检测范围
金属密封件：法兰/阀门/管道连接件
真空设备组件：分子泵/低温泵腔体
锂电池外壳：动力电池模组/储能电池舱
医疗包装材料：无菌器械袋/药品泡罩
汽车空调系统：压缩机/冷凝器总成
检测方法
ASTM E493-22：氦质谱检漏仪标准测试方法
ISO 20486:2017：真空箱法泄漏校准规范
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34879-2017：真空技术 氦质谱检漏方法
ISO 15848-1:2015：工业阀门微泄漏分级标准
检测设备
Leybold PHOENIX L300i：双通道质谱仪，最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·l/s
INFICON UL1000 Faber：集成式自动校准系统，支持SNIFFER模式
Agilent VS-SNS240：四极杆质谱仪带温控样品舱（-50~200℃）
Pfeiffer HLT560：高压氦检系统（40MPa耐压设计）
Shimadzu MS-QC300：在线式质量流量计（0.1s采样周期）