光学透射波前检测

检测项目

波前畸变：RMS值范围λ/20~λ/5（λ=632.8nm）

透射均匀性：局部透过率偏差±1%~±5%

面形精度：PV值≤λ/10~λ/2

材料折射率均匀性：Δn≤1×10^-5

平行度偏差：≤10 arcsec

检测范围

光学玻璃：熔融石英、BK7、SF11等

晶体材料：氟化钙（CaF₂）、铌酸锂（LiNbO₃）

薄膜涂层元件：抗反射膜、分光膜

聚合物光学材料：PMMA、PC透镜

红外光学材料：硒化锌（ZnSe）、硫化锌（ZnS）

检测方法

ASTM E903-20：透射光谱法测定材料均匀性

ISO 10110-5:2015：光学元件表面面形公差评估

GB/T 1800.3-2020：几何量公差测量规范

GB/T 26323-2010：激光波前分析仪校准方法

ISO 14997:2012：光学表面缺陷定量测试

检测设备

Zygo Verifire™ HDX激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm RMS

Shimadzu UV-3600 Plus分光光度计：光谱范围185~3300nm，精度±0.08%T

Trioptics OptiCentric®双轴准直仪：角度分辨率0.1 arcsec

Taylor Hobson CCI HD非接触式轮廓仪：垂直分辨率0.01Å

Photon S.A. HASO4 Wavefront Sensor：动态范围±50λ，空间分辨率256×256像素