检测项目

最小可检漏率：5.0×10-12 Pa·m³/s（标准模式）

响应时间：≤3秒（氦气浓度从0到90%上升时间）

工作压力范围：1×10-4 Pa至标准大气压

质谱分析范围：1-8 amu（氦气特征峰）

校准精度：±5%（基于NIST可追溯标准漏孔）

检测范围

真空系统组件：半导体制造设备真空腔体、粒子加速器真空管道

密封容器类：高压储氢罐、LNG低温储罐、医用氧气瓶

管道阀门系统：核电站主循环管道焊缝、航天器推进剂输送阀门

电子元器件：IGBT功率模块封装、MEMS传感器腔体密封

医疗设备：血液透析机液路系统、人工心肺机氧合器

检测方法

ASTM E493-22《Standard Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode》

ISO 20486:2017《Leak detection systems - Calibration of gas leak detectors》

GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》

GB 12358-2006《作业场所环境气体检测报警仪通用技术要求》

ASME BPVC Section V Article 10《Standard leak test method》

检测设备

WY-2000型：双通道四极杆质谱系统，支持正压/负压双模式测试

WY-3000Pro型：集成自动校准模块，内置10组预设测试程序

WY-H1000便携式：IP54防护等级，适用于现场移动检测场景

WY-M500微型化系统：专用于MEMS器件微泄漏测试（≤1×10-14 Pa·m³/s）

WY-A800全自动型：配备机械臂接口，支持无人值守批量测试