检测项目
介电常数测量：范围1-1000F/m@1kHz±0.1%
灵敏度校准：0.1pF分辨率@±0.05%精度
线性度验证：全量程±0.3%FS非线性误差
温度漂移测试：-40℃~+125℃范围内≤±0.02%/℃
频率响应分析：10Hz-1MHz带宽内相位偏移≤1°
检测范围
金属薄膜电极传感器（厚度50nm-200μm）
陶瓷基板式电容传感器（Al₂O₃/AlN基材）
聚合物复合材料传感器（PTFE/PEI基体）
MEMS微电容芯片（尺寸≤5×5×1mm³）
液态介质传感器（介电液粘度1-500cP）
检测方法
ASTM D150-11：固体电绝缘材料介电常数测试
ISO 16525-2：各向异性导电粘接材料测试
GB/T 11297.11-2015：温度循环试验（-55~+125℃）
GB/T 2423.3-2016：恒定湿热试验（40℃/93%RH）
IEC 60068-2-6：宽频振动测试（10-2000Hz）
检测设备
Keysight E4980A精密LCR表：20Hz-2MHz/0.05%基本精度
Fluke 754过程校准器：24位ADC/±0.01%读数精度
Thermotron SM-32环境试验箱：温变率5℃/min
B&K 4809振动台系统：最大加速度980m/s²
Agilent 34972A数据采集仪：6½位/300通道扫描