检测项目
有效孔径测量：通光口径＞100mm公差0.1mm
曲率半径精度：球面/非球面轮廓偏差≤0.05μm
透射波前误差：PV值＜λ/4（@632.8nm），RMS＜λ/20
表面粗糙度：Ra≤0.5nm（局部区域≤1nm）
镀膜均匀性：反射率波动＜0.5%（400-700nm波段）
环境稳定性：温度循环（-40℃~+85℃）后形变量＜0.02mm
检测范围
天文望远镜主镜/副镜组件（直径200-1000mm）
高分辨率显微物镜（NA≥0.9）
工业级激光聚焦镜头（波长范围193-1064nm）
航天遥感相机光学系统（抗辐射镀膜型）
医疗内窥镜物镜组（直径3-10mm超小口径）
检测方法
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定
ISO14999-4:2015干涉法波前误差测量
ASTME903-20光谱反射率/透射率测试
GB/T2831-2009光学零件曲率半径测试方法
GB/T7661-2009光学零件表面粗糙度接触式测量
MIL-STD-810H环境适应性试验程序
检测设备
ZygoVerifire™HDX激光干涉仪：波长632.8nm，波前分辨率λ/1000
TaylorHobsonPGIOptics轮廓仪：曲率半径测量精度0.01μm
BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度测量范围0.1nm-10μm
SpectralProductsDK242积分球光谱仪：镀膜均匀性分析精度0.1%
TRIOPTicsOptiCentric双轴对准系统：光轴偏心量测量精度1μm
EspecPL-3K环境试验箱：温控精度0.5℃，湿度控制2%RH
CMMLeitzPMM-F30.20.16三坐标测量机：空间定位精度0.6+L/400μm
SUSSMicroTecAPS200掩模对准仪：微结构对准精度0.25μm