检测项目

1. 元素成分分析：测定样品中C、Si、Mn等元素的含量范围（0.001%-99.9%），检出限≤10 ppm。

2. 微区元素分布成像：空间分辨率≤5 μm，支持面扫描与线扫描模式。

3. 镀层/涂层厚度测量：测量范围0.1-500 μm，精度±0.05 μm。

4. 夹杂物鉴定：识别氧化物、硫化物等非金属夹杂物（尺寸≥2 μm）。

5. 相结构表征：结合EDS实现物相鉴定（加速电压5-30 kV）。

检测范围

1. 金属材料：不锈钢、铝合金、钛合金等铸件/锻件的成分偏析分析

2. 半导体器件：硅晶圆掺杂浓度分布、焊点金属间化合物（IMC）检测

3. 地质样品：岩石矿物中稀土元素含量及赋存状态研究

4. 生物医学材料：骨植入物表面羟基磷灰石涂层的元素组成测定

5. 环境颗粒物：PM2.5中重金属（Pb、Cd、As）的微区溯源分析

检测方法

1. ASTM E1614-19：激光诱导击穿光谱法测定金属材料成分的标准方法

2. ISO 22309:2011：微束分析-能谱法定量分析通则

3. GB/T 20125-2006：低合金钢多元素含量的测定标准

4. GB/T 17359-2023：电子探针显微分析通用技术条件

5. ISO 15632:2021：半导体器件X射线能谱仪性能要求

检测设备

1. Thermo Scientific Niton XL5：手持式LIBS分析仪（波长1064 nm）

2. Bruker M4 TORNADO Plus：微区XRF联用系统（光斑尺寸20 μm）

3. HORIBA LabRAM HR Evolution：拉曼光谱-激光显微联用系统

4. Hitachi EA1400 X-MaxN：钨灯丝电镜配套能谱仪（分辨率129 eV）

5. Shimadzu EPMA-8050G：电子探针显微分析仪（波长色散型）

6. JEOL JXA-8530F Plus：场发射电子探针（束流10-12-10-6A）

7. Oxford Instruments Ultim Max 170：大面积能谱探测器（170 mm²）

8. ZEISS Sigma 500：场发射扫描电镜联用LIBS模块

9. Agilent 7900 ICP-MS联用激光剥蚀系统（空间分辨率5 μm）

10. TESCAN TIMA-X：矿物自动分析系统（EDS+CL集成）