真空传感器引线低真空检测

检测项目

1.引线气密性测试：泄漏率≤110^-9Pam/s（氦质谱法）

2.绝缘电阻测量：≥1000MΩ（500VDC持续60s）

3.耐压强度验证：AC1500V/1min无击穿放电

4.温度循环测试：-55℃~+125℃循环20次后性能保持

5.机械振动试验：10Hz~2000Hz扫频振动（振幅1.5mm）

检测范围

1.镀金铜合金引线（直径0.1mm~0.5mm）

2.聚酰亚胺绝缘层封装结构

3.MEMS真空传感器组件

4.陶瓷基板焊接接点

5.金属玻璃密封端子

检测方法

ASTMF1172-20《真空系统泄漏测试标准规程》

ISO3529-3:2021《真空技术术语与测量方法》

GB/T15478-2015《压力传感器性能试验方法》

GB/T2423.10-2019《电工电子产品环境试验振动试验》

IEC60664-1:2020《绝缘配合基本要求》

检测设备

INFICONLDS3000氦质谱检漏仪（灵敏度110^-12Pam/s）

KeysightB2987A静电计（测量范围0.01fA~20mA）

ChromaloxTTC-1534高低温试验箱（温变速率15℃/min）

LDSV964电磁振动台（最大推力9800N）

HIOKIST5520耐压测试仪（AC5kV/DC6kV）

Agilent4294A阻抗分析仪（40Hz~110MHz）

EdwardsXDS35i干式涡旋泵（极限真空510^-3mbar）

PfeifferHLT260热偶真空计（量程1000mbar~110^-4mbar）