菲涅尔镜检测

检测项目

1.面形精度：PV值≤0.5λ（λ=632.8nm），RMS值≤0.1λ

2.表面粗糙度：Ra≤5nm（测量区域55mm）

3.透光率：可见光波段（380-780nm）≥92%

4.环带间距误差：公差0.02mm（全口径扫描）

5.抗反射膜层厚度：25010nm（椭圆偏振仪测量）

6.环境稳定性：-40℃~+85℃循环测试后畸变量≤0.3λ

检测范围

1.聚光型菲涅尔镜（太阳能热发电用）

2.线性菲涅尔透镜（投影显示系统用）

3.微结构菲涅尔阵列（激光光学系统用）

4.PMMA材质菲涅尔导光板（汽车照明用）

5.硅基镀膜菲涅尔元件（AR/VR设备用）

检测方法

1.ISO10110-5:2015《光学元件面形公差规范》

2.ASTME903-20《材料透光率与反射率测试标准》

3.GB/T26331-2010《光学薄膜反射率测试方法》

4.ISO14997:2018《光学元件表面缺陷检测规程》

5.GB/T13323-2009《光学零件环境试验方法》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度测量分辨率0.1nm

2.TaylorHobsonTalysurfPGI1240轮廓仪：纵向分辨率0.8nm，行程200mm

3.PerkinElmerLambda950分光光度计：光谱范围175-3300nm，带宽0.05nm

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率10nm，最大倍率10800

5.OptofluxF20环带测量系统：CCD分辨率20482048像素，扫描速度15mm/s

6.ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪：角度重复性0.0001

7.EspecPL-3J温湿度试验箱：温度范围-70℃~+180℃，变温速率15℃/min

8.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1，横向分辨率0.4μm