可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型 典型应用场景 主要检测项目 常用方法 / 参考
纯银挂片(硫化敏感剂量片) 特气管路、洁净室氛围硫化活性监测 硫化银膜厚、变色等级、单位面积增重 GB/T 2423.20-2014硫化氢气氛暴露后荧光测厚
纯铜挂片(综合腐蚀指示片) 气路氛围综合腐蚀性普查与批次比对 铜复合膜厚、点蚀深度、增重率 GB/T 2423.19-2013或GB/T 2423.51-2020暴露后金相截面测厚
铜银双片联测组合(同架配对) 同一位置同步暴露,双金属联判氛围构成 双片膜厚比、变色序列对比、速率折算 GB/T 2423.51-2020流动混合气体同架暴露
管路在线监测挂片(取样口布放) 产线特气系统运行氛围跟踪 现场累积膜厚、增长速率、区段差异 现场布放按计划取片,荧光或金相截面测厚
镀覆样片(镀镍、镀银触点代用片) 电接触件氛围适应性代用考核 镀层膜厚变化、孔隙显化、覆盖层评级 GB/T 9789-2008凝露二氧化硫暴露结合GB/T 6461-2002评级
交替工况暴露挂片 干湿与气氛交变环境的累积评价 交替累积膜厚、干湿交替增重 GB/T 28416-2012交替暴露后称重与测厚

检测项目

1. 硫化银膜厚:X射线荧光法无损测量,纳米级至微米级量程,记录剂量与膜厚的对应关系

2. 铜复合膜厚与分层:金相截面几何测厚,分辨率达微米级以下,能谱辅助区分氧化物与硫化物分层

3. 单位面积增重:读数精度0.01毫克称量,结果以毫克每平方厘米表述,作为积分量校核

4. 变色等级:按GB/T 6461-2002记录外观等级,配合分光测色色度轨迹跟踪

5. 点蚀深度:金相截面测量最大蚀坑深度并统计蚀点密度

6. 膜厚增长速率:膜厚除以累积暴露时长折算,供批次与布放位置间横向比对

检测范围

1. 纯银挂片:高纯银板裁切,镜面或规定粗糙度表面,尺寸按试验容器定制

2. 纯铜挂片:紫铜板裁切,经清洗活化后使用

3. 双金属组合挂片:铜银同架配对,绝缘垫隔离固定

4. 镀覆样片:镀镍、镀银、镀金触点代用片

5. 现场监测挂片:特气管路取样口、洁净室回风口等位置布放片

检测方法

1. GB/T 2423.20-2014 环境试验 试验Kd硫化氢气氛试验

2. GB/T 2423.19-2013 环境试验 试验Kc二氧化硫气氛试验

3. GB/T 2423.51-2020 环境试验 试验Ke流动混合气体腐蚀试验

4. GB/T 9789-2008 金属和其他无机覆盖层 通常凝露条件下的二氧化硫腐蚀试验

5. GB/T 28416-2012 人工大气中的腐蚀试验 交替暴露在腐蚀性气体、中性盐雾及干燥环境中的加速腐蚀试验

6. GB/T 6461-2002 金属基体上金属和其他无机覆盖层 经腐蚀试验后的试样和试件的评级

检测设备

1. 流动混合气体腐蚀试验箱:多路配气浓度控制达十亿分之一量级,温湿度程序可控,整机按GB/T 5170.11-2017检验

2. X射线荧光膜厚仪:薄膜测量下限纳米级,支持多层膜系单层测厚

3. 椭圆偏振测厚仪:光学法测量透明与半透明膜,纳米级分辨率

4. 金相显微镜:500倍以上放大,截面膜厚与蚀坑深度测量

5. 金相制样装置:镶嵌、研磨与抛光功能,保证截面真实膜厚不崩边

6. 扫描电镜及能谱附件:膜层形貌观察与微区成分分析,区分氧化物与硫化物

7. 微量天平:读数精度0.01毫克,暴露前后称量增重

8. 分光测色仪:记录变色色度轨迹,与外观等级并用

9. 恒温恒湿存储柜:取片后受控湿度暂存,避免膜层吸湿变化