检测项目
密封性测试：压力范围0.1-10MPa，泄漏率阈值≤1×10⁻⁹ mbar·L/s
泄漏定位分析：空间分辨率≤0.5mm³/s
系统保压测试：压力衰减率≤0.05%/h
渗透率测定：材料厚度0.1-50mm时渗透系数≤1×10⁻¹² cm³·cm/(cm²·s·Pa)
真空度验证：极限真空≤5×10⁻⁷ mbar
循环压力测试：交变压力±15%额定值，循环次数≥500次
检测范围
真空设备：镀膜腔体、分子泵组、超高真空阀门
制冷系统：压缩机壳体、蒸发器管路、冷媒循环回路
汽车部件：燃料电池堆栈、动力电池包壳体、氢燃料储罐
医疗设备：血液透析机液路系统、灭菌包装袋
电子元件：半导体封装外壳、MEMS器件密封腔
检测方法
ASTM E499-20: Standard Practice for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode
ISO 20486:2017: Vacuum technology — Leak detection methods — Helium mass spectrometer leak detection
GB/T 12604.7-2021: 无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34632-2017: 真空技术 氦质谱检漏方法
ASME BPVC Section V Article 10: Standard Test Method for Helium Leak Testing
检测设备
Leybold PHOENIX L300i：检测下限5×10⁻¹² mbar·L/s，集成双通道质谱分析模块
ULVAC HELIOT 700系列：支持正压/负压双模式测试，响应时间＜0.5s
Agilent VSF-2240S：配备四极杆质量过滤器，质量数范围1-200amu
INFICON ECOTEC 3000：内置自动校准系统，测量精度±3%读数
Pfeiffer ASM 390 TSN：涡轮分子泵抽速290L/s，极限真空5×10⁻⁸ mbar