检测项目
氦气纯度：≥99.999%（体积分数）
氮气（N₂）含量：≤5 ppm
氧气（O₂）含量：≤1 ppm
氢气（H₂）含量：≤1 ppm
水分（H₂O）含量：≤3 ppm（露点≤-76℃）
总烃（THC）含量：≤1 ppm
颗粒物浓度：≤0.1 μm颗粒数≤100个/m³
检测范围
电子级高纯氦气（半导体制造、光纤生产）
医疗用液态氦（MRI超导磁体冷却介质）
工业气体产品（焊接保护气、检漏气）
科研用超纯氦（低温物理实验载气）
航空航天领域氦气（推进剂增压系统）
检测方法
国家标准：GB/T 28726-2012《气体分析 氦离子化气相色谱法》
国家标准：GB/T 38523-2020《混合气体中杂质含量的测定 四极质谱法》
国家标准：GB/T 13277.8-2023《压缩空气 第8部分：颗粒物质量浓度测试方法》
国家标准：GB/T 5832.2-2016《气体中微量水分的测定 第2部分：露点法》
检测设备
功能：分离并定量分析氦气中N₂、O₂、H₂等痕量杂质。
功能：高灵敏度检测总烃及超低浓度气体组分。
功能：实时监测0.1~5 μm粒径颗粒物数量浓度。
功能：测量-100℃至+20℃范围内的水分露点值。
功能：定性定量分析CO、CO₂等极性分子杂质。
功能：校准气体采样压力偏差对测试结果的影响。
功能：提升惰性气体杂质分析的灵敏度和重复性。