检测项目
氦气泄漏率测定：灵敏度范围1×10⁻⁸~1×10⁻¹² Pa·m³/s
压力循环测试：真空压力0.1~1000 Pa，循环次数≥50次
示踪气体浓度校准：氦气纯度≥99.999%，背景浓度≤5 ppm
密封件渗透率分析：温度范围-50℃~200℃，渗透系数≤1×10⁻¹⁴ mol/(m·s·Pa)
系统响应时间验证：从泄漏发生到信号稳定时间≤3 s
检测范围
航空航天：钛合金燃料管路、舱体焊接接头
核工业：反应堆压力容器密封圈、乏燃料储罐
医疗器械：植入式器械封装体、血液透析器膜组件
半导体：高纯气体输送阀门、真空腔室法兰
新能源汽车：氢燃料电池双极板、储氢罐焊缝
检测方法
ASTM E499/E499M-22：质谱仪示踪气体泄漏检测标准方法
ISO 20485:2017：非破坏性试验-泄漏检测-氦质谱法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测
GB 4208-2017附录B：外壳防护等级氦检补充试验程序
ASME BPVC Section V Article 10：承压设备氦质谱检漏规范
检测设备
Agilent HX-200系列氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s，集成双通道真空系统
INFICON LDS3000检漏系统：支持自动压力编程控制（APC），测试范围覆盖1×10⁻⁴~1 mbar·L/s
Pfeiffer Vacuum ASM 340 TSN：配备四极杆质谱分析器，响应时间≤0.5 s
Cincinnati Test Systems LT-1500：集成多工位测试接口，支持ISO 15848密封性能认证
ULVAC HELIOT 700：高真空模式极限压力≤5×10⁻⁷ Pa，配备自动校准模块