检测项目
泄漏率阈值：≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（常规工况） / ≤5×10⁻¹² mbar·L/s（超高真空）
压力测试范围：-1.0 bar至40 bar（静态压力保持测试）
温度适应性：-196℃（液氮环境）至450℃（高温工况）
真空度要求：基础真空≤5×10⁻⁶ mbar（预抽真空阶段）
残留氦浓度：背景值≤1×10⁻⁷ mbar·L/s（环境校准）
检测范围
奥氏体不锈钢管路（316L/304材质）
钛合金焊接管路（Gr5/Gr9级）
铜镍合金承压管路（C70600/C71500）
高分子复合管路（PTFE/PEEK衬里结构）
铝合金成型管路（6061-T6/5083-H32）
检测方法
ASTM E499-14：质谱仪示踪气体法正向加压检测
ISO 20485:2017：密闭系统累积法氦泄漏率测定
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测
GB 12352-2018：压力管道安全技术规范（附录C）
ASME BPVC Section V Art.10：承压部件真空罩检漏法
检测设备
氦质谱检漏仪：Leybold PHOENIX L300i（分辨率0.1Hz/10V, 最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s）
真空机组：Pfeiffer HiCube 80 Eco（极限真空5×10⁻⁸ mbar, 抽速65m³/h）
压力控制系统：INFICON UL1000（控制精度±0.25%FS, 量程0-100bar）
热循环试验箱：Espec PSL-3KPH（温变速率15℃/min, -70℃~+180℃）
数据采集系统：National Instruments cDAQ-9189XT（24位ADC, 512kS/s采样率）