检测项目
位错密度定量分析(检测范围:104-108 cm-2)
位错滑移系取向测定(精度±0.1°)
位错网络拓扑结构表征(分辨率≤5 nm)
位错-析出相交互作用强度(应力场分析范围0.1-5 GPa)
动态加载下位错运动轨迹追踪(帧率≥1000 fps)
位错芯区原子结构解析(电子束能量80-300 keV)
检测范围
金属材料:铝合金(AA2024/7075)、钛合金(Ti-6Al-4V)、镍基高温合金(Inconel 718)
半导体材料:硅单晶(<100>/<111>晶向)、GaN外延层、碳化硅晶圆
复合材料:碳纤维增强钛基复合材料(Cf/Ti)、氧化铝颗粒增强铝基复合材料
陶瓷材料:氧化锆(3Y-TZP)、氮化硅(Si3N4)结构陶瓷
功能材料:形状记忆合金(NiTi)、压电陶瓷(PZT-5H)
检测方法
透射电子显微镜法:ASTM E112-13、GB/T 13298-2015
X射线衍射法:ISO 22278:2020、GB/T 8362-2018
电子背散射衍射法:ASTM E2627-13、ISO 24173:2009
同步辐射拓扑成像法:ISO 22309:2011
原子探针层析技术:ASTM E2859-11
分子动力学模拟验证:GB/T 38214-2019
检测设备
场发射透射电镜:JEOL JEM-ARM300F(球差校正,点分辨率0.08 nm)
X射线衍射仪:Bruker D8 ADVANCE(Cu Kα辐射,2θ范围5°-165°)
聚焦离子束系统:Thermo Fisher Scios 2(离子束加速电压0.5-30 kV)
原位力学测试平台:Kammrath & Weiss Tensile Stage(最大载荷5 kN,温度范围-150°C-1200°C)
三维原子探针:CAMECA LEAP 5000XR(质量分辨率m/Δm≥2000)
同步辐射装置:上海光源BL13W1线站(能量范围5-40 keV)