检测项目
边缘锐度误差:≤0.02mm(基于50倍光学放大测量)
过渡区宽度:≤5μm(灰度梯度法分析)
轮廓对比度:≥85%(ISO 16610-21标准)
边缘直线度偏差:≤0.03mm/m(激光干涉仪测量)
表面粗糙度:Ra≤0.4μm(接触式探针测量)
检测范围
光学元件:透镜/棱镜切割面边缘质量评估
金属加工件:精密机械零件倒角精度验证
印刷品:防伪标识微缩文字清晰度检验
电子元件:PCB板线路蚀刻边界分析
医疗器械部件:手术刀具刃口微观形貌检测
检测方法
ISO 12233:2017《摄影-电子静像画面-分辨力测量》
ASTM E3025-22《使用数字成像系统进行边缘锐度测量的标准实践》
GB/T 29737-2013《金属表面轮廓的仪器测量方法》
ISO 16610-21:2021《几何产品规范(GPS)-滤波-第21部分:线性轮廓滤波器》
GB/T 6062-2021《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法接触(触针)式仪器的标称特性》
检测设备
Mitutoyo Quick Vision QV Pro 3020:配备0.5μm分辨率光学探头及自动对焦系统
Keyence VHX-7000数码显微镜:支持20nm级三维形貌重建功能
Olympus OLS5000激光共聚焦显微镜:实现120nm横向分辨率的非接触测量
Zeiss O-INSPECT 543多传感器系统:集成光学/接触式复合测量模块
Bruker ContourGT-X8白光干涉仪:提供0.1Å垂直分辨率的表面分析能力