检测项目

1.反冲能量谱分析：能量范围50keV-10MeV，分辨率≤0.5%

2.深度剖面测定：探测深度0.1-10μm，纵向分辨率≤5nm

3.入射角校准：角度范围0-90，精度0.05

4.束流均匀性测试：束斑直径1-5mm，均匀性误差＜2%

5.探测器效率标定：能量响应范围20keV-15MeV，效率偏差＜3%

6.真空系统稳定性：基础真空≤110^-6Pa，工作真空波动＜5%

检测范围

1.核反应堆结构材料：锆合金包壳管、不锈钢压力容器

2.半导体器件：硅基集成电路、GaN功率器件

3.功能薄膜材料：类金刚石涂层、磁控溅射氮化钛膜

4.航天复合材料：碳纤维增强陶瓷基体、钛铝金属间化合物

5.生物医用材料：羟基磷灰石涂层、钴铬合金关节假体

6.光学元件：氟化镁增透膜、氧化铟锡导电玻璃

检测方法

1.ASTME521-16：带电粒子辐照损伤评估标准方法

2.ISO18114:2021：离子束分析-弹性反冲探测分析通则

3.GB/T30705-2014：离子束分析技术规范（弹性反冲部分）

4.ASTME2809-22：氢同位素深度剖面测定标准指南

5.ISO11929-10:2022：核仪器测量不确定度评定规范

6.GB/T36401-2018：表面化学分析-弹性反冲探测术语

检测设备

1.NECSSDH-2串列加速器：提供1-8MeV质子/氦离子束流

2.HVEE3MVTandetron静电加速器：束流强度0.1-100nA可调

3.ORTECSOLOIST硅漂移探测器：能量分辨率123eV@5.9keV

4.CanberraPIPS探测器：有效面积300mm，死层厚度35nm

5.SPECSPHOIBOS150半球分析器：角度分辨精度0.01

6.OxfordInstrumentsMicrostatHe低温恒温器：温控范围10-400K

7.VGScientaR4000位敏探测器：位置分辨率50μm

8.KratosAXISSupraXPS联用系统：深度剖析速率10nm/min

9.JEOLJIB-4700F聚焦离子束系统：束斑直径3nm@30keV

10.BrukerD8ADVANCE衍射仪：掠入射角范围0.1-5

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与高能反冲原子检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。