1. 电离密度:测量单位体积内自由电子与离子数量级(10⁹-10¹² cm⁻³)
2. 电子温度:通过Langmuir探针测定电子能量分布(0.1-10 eV)
3. 离子迁移率:分析电场作用下离子运动速度(0.1-5 cm²/(V·s))
4. 气体成分浓度:采用质谱法检测O₂/N₂/Ar等组分(ppm级精度)
5. 等离子体电位:测量空间电势差(±50 V范围内)
1. 半导体制造用工艺气体(如CF₄、SF₆等离子体)
2. 环保监测中的工业废气电离产物
3. 航空航天领域电推进工质气体
4. 医疗灭菌用低温等离子体介质
5. 新能源领域氢等离子体燃料
1. ASTM E285-08:电离气体光学发射光谱分析法
2. ISO 13341:2020:质谱联用技术测定电离气体组分
3. GB/T 25915.5-2010:洁净环境电离气体电学参数测试规范
4. ISO 20762:2018:等离子体诊断用探针系统校准规程
5. GB/T 38393-2019:电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)通用技术要求
1. Agilent 5977B GC/MSD:四极杆质谱仪(0-1000 amu质量范围)
2. Hiden ESPion:Langmuir探针系统(电流分辨率0.1 nA)
3. Ocean Optics HR4000:高分辨率光谱仪(200-1100 nm波长)
4. Tektronix MDO3104:混合域示波器(1 GHz带宽)
5. TSIAIR-5000:电迁移率分析仪(0.5-50 nm粒径范围)
6. Keysight B1505A:功率器件分析仪(3000 V/100 A量程)
7. Pfeiffer Vacuum HiPace 80:涡轮分子泵(67 L/s抽速)
8. Horiba ST-2000:激光散射粒子计数器(0.1 μm灵敏度)
9. MKS 925B:电容式压力计(10⁻⁴-100 Torr量程)
10. Fluke 289:真有效值万用表(0.025%直流精度)
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与电离气体介质检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。