检测项目

1. 电离密度：测量单位体积内自由电子与离子数量级（10⁹-10¹² cm⁻³）

2. 电子温度：通过Langmuir探针测定电子能量分布（0.1-10 eV）

3. 离子迁移率：分析电场作用下离子运动速度（0.1-5 cm²/(V·s)）

4. 气体成分浓度：采用质谱法检测O₂/N₂/Ar等组分（ppm级精度）

5. 等离子体电位：测量空间电势差（±50 V范围内）

检测范围

1. 半导体制造用工艺气体（如CF₄、SF₆等离子体）

2. 环保监测中的工业废气电离产物

3. 航空航天领域电推进工质气体

4. 医疗灭菌用低温等离子体介质

5. 新能源领域氢等离子体燃料

检测方法

1. ASTM E285-08：电离气体光学发射光谱分析法

2. ISO 13341:2020：质谱联用技术测定电离气体组分

3. GB/T 25915.5-2010：洁净环境电离气体电学参数测试规范

4. ISO 20762:2018：等离子体诊断用探针系统校准规程

5. GB/T 38393-2019：电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)通用技术要求

检测设备

1. Agilent 5977B GC/MSD：四极杆质谱仪（0-1000 amu质量范围）

2. Hiden ESPion：Langmuir探针系统（电流分辨率0.1 nA）

3. Ocean Optics HR4000：高分辨率光谱仪（200-1100 nm波长）

4. Tektronix MDO3104：混合域示波器（1 GHz带宽）

5. TSIAIR-5000：电迁移率分析仪（0.5-50 nm粒径范围）

6. Keysight B1505A：功率器件分析仪（3000 V/100 A量程）

7. Pfeiffer Vacuum HiPace 80：涡轮分子泵（67 L/s抽速）

8. Horiba ST-2000：激光散射粒子计数器（0.1 μm灵敏度）

9. MKS 925B：电容式压力计（10⁻⁴-100 Torr量程）

10. Fluke 289：真有效值万用表（0.025%直流精度）