检测项目

1.扩散层厚度测定：测量范围0.1-500μm，精度0.05μm

2.元素浓度梯度分析：检测灵敏度达ppm级

3.晶格畸变率测定：分辨率≤0.01%

4.表面粗糙度检测：Ra值测量范围0.01-10μm

5.界面结合强度测试：载荷范围0.1-50kN

检测范围

1.半导体材料：硅基/砷化镓晶圆掺杂层

2.金属合金：钛合金/镍基高温合金渗层

3.陶瓷材料：氮化硅/碳化硅表面改性层

4.光伏材料：PERC电池磷扩散层

5.涂层材料：热障涂层互扩散区

检测方法

1.ASTME112-13晶粒度测定法

2.ISO26304:2020金属材料扩散层测试规范

3.GB/T13301-2019金属覆盖层厚度测量方法

4.ASTME1508-12电子探针定量分析标准

5.GB/T34892-2017微束分析电子探针方法通则

检测设备

1.JSM-IT800扫描电子显微镜：配备EDS能谱仪，元素面分布分析

2.DektakXT台阶仪：垂直分辨率0.1的膜厚测量

3.NanoIndenterG200纳米压痕仪：弹性模量测试精度2%

4.ThermoScientificARLEQUINOX1000X射线衍射仪：物相分析角度重复性0.0001

5.SIMS4550二次离子质谱仪：深度分辨率优于3nm

6.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：三维形貌重建精度0.1nm

7.Agilent7900ICP-MS：元素检出限达ppt级

8.ZeissAxioImager.A2m金相显微镜：配备Clemex图像分析系统

9.Instron5985万能试验机：载荷精度0.5%示值

10.OxfordInstrumentsAZtecWave波谱仪：特征X射线采集效率提升40%

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与扩散工艺检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。