检测项目

1.位元尺寸精度：测量单个存储单元X/Y/Z轴向尺寸公差（0.5nm）

2.位错误率（BER）：统计110^-12至110^-18误码区间分布

3.信号噪声比（SNR）：量化20MHz-6GHz频段内≥35dB信噪比

4.热稳定性测试：-55℃至+150℃温度循环下的位保持特性

5.写入/擦除耐久性：验证≥110⁶次循环后的位密度衰减率

检测范围

1.3DNAND闪存芯片（128L-256层堆叠结构）

2.HAMR热辅助磁记录硬盘（2-5Tb/in面密度）

3.相变存储器（PCM）晶圆（20-50nm制程节点）

4.铁电存储器（FeRAM）测试片（130-180nm工艺）

5.量子点存储介质（QD-SSD）原型样品

检测方法

1.ASTMF2182-19：半导体存储器单元尺寸测量规程

2.ISO/IEC29125:2017：光存储介质位密度测试方法

3.GB/T26248-2010：磁记录介质面密度测定规范

4.JESD22-A117E：非易失性存储器耐久性测试标准

5.GB/T35009-2018：相变存储器性能测试导则

检测设备

1.KeysightB1500A半导体分析仪：支持0.1fA-1A电流精度测量

2.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：0.1nm空间分辨率成像

3.AdvantestT2000存储测试系统：128通道并行BER测试能力

4.ThermoFisherTalosF200X透射电镜：亚纳米级结构表征

5.LakeshoreCRX-4K低温探针台：4K-500K温控环境模拟

6.AgilentN9048B信号分析仪：44GHz带宽噪声谱分析

7.ZeissSigma500场发射SEM：1nm电子束分辨率成像

8.CascadeSummit12000探针台：12英寸晶圆级测试平台

9.Keithley4200A-SCS参数分析仪：pA级漏电流测量模块

10.OxfordInstrumentsPlasmaPro100刻蚀机：纳米级定位修正系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与二进制位密度检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。