检测项目

表面粗糙度：Ra0.01-6.3μm范围测定（轮廓算术平均偏差）

维氏硬度：HV100-1200标尺测试（载荷1-50kgf）

平面度公差：≤0.001mm/m精度验证（激光干涉法）

晶粒度评级：ASTME112标准下G4-G12级别判定

残余应力：X射线衍射法测量2000MPa范围

检测范围

金属材料：不锈钢/钛合金/硬质合金研磨件

陶瓷材料：氧化铝/碳化硅/氮化硅精密元件

光学玻璃：BK7熔融石英/氟化钙透镜基片

半导体晶圆：硅片/砷化镓衬底抛光面

高分子材料：PEEK/PTFE耐磨涂层表面

检测方法

ISO4287:1997表面粗糙度轮廓法测量规范

ASTME384-22微硬度压痕试验标准

GB/T11337-2004平面度误差三坐标测量法

ISO643:2019钢的奥氏体晶粒度评级方法

GB/T7704-2017X射线应力测定仪校准规范

检测设备

MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪（0.01μm分辨率）

WilsonVH3300显微硬度计（4X-100X物镜）

HexagonGlobalS7.10.7三坐标测量机（0.6μm精度）

BrukerD8DISCOVERX射线衍射仪（Cr-Kα辐射源）

OlympusGX53金相显微镜（1500X数码成像）

ZygoNewView9000白光干涉仪（0.1nm垂直分辨率）

ShimadzuHMV-G21ST显微硬度测试系统（全自动压痕定位）

KeyenceVR-5000三维轮廓仪（405nm蓝色激光光源）

PanasonicHG-C1050激光位移传感器（0.05%线性精度）

Instron5985万能材料试验机（100kN载荷容量）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与研磨用的检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。