检测项目

1.插入损耗与回波损耗：频率范围1-40GHz下测试S11/S21参数偏差值≤0.3dB

2.驻波比（VSWR）：在额定功率下验证1.5:1的极限阈值

3.功率容量：连续波输入功率≥50W时监测热稳定性

4.介电常数一致性：基板材料Dk值波动范围0.05（@10GHz）

5.气密性验证：氦质谱检漏率≤510⁻⁸Pam/s

检测范围

1.多层陶瓷基板（LTCC/HTCC）电路组件

2.微波收发前端集成模块（T/R组件）

3.毫米波相控阵天线馈电网络

4.薄膜混合集成衰减器/功分器

5.金丝键合互连的GaN功率放大器模组

检测方法

1.GB/T16526-1996《混合集成电路外壳通用规范》规定气密封装测试流程

2.IEC62047-19:2017高频器件非线性特性测量规范

3.ASTMD2520-21微波介质材料介电特性测试标准

4.GB/T16525-1996混合集成电路电气测试通用方法

5.IPC-TM-6502.5.5.7微带线特性阻抗测试规程

检测设备

1.KeysightN5227B矢量网络分析仪：支持110GHz频段S参数精密测量

2.TektronixDPO73304S示波器：80GHz带宽时域反射计（TDR）分析

3.ThermoScientificHermes微焦点X射线仪：20μm分辨率封装缺陷检测

4.R&SFSW67频谱分析仪：-170dBm灵敏度下的谐波失真测试

5.ESPECSH-642恒温恒湿箱：-70℃~+180℃温度循环试验

6.AgilentN6705C直流电源模块：100A脉冲电流负载能力验证

7.OphirFL500A-BB-50激光功率计：50W级射频功率校准

8.AnritsuME7848A宽带信号发生器：70GHz毫米波信号合成

9.BrukerContourElite白光干涉仪：0.1nm级焊点共面性测量

10.PfeifferVacuumASM390氦质谱检漏台：510⁻mbarL/s灵敏度测试

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与微波混合集成电路检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。