真空环境检测概述:检测项目1.真空度测量:覆盖110⁻Pa至110⁻⁹Pa量程范围2.漏率检测:灵敏度达110⁻Pam/s3.气体成分分析:H₂O、O₂、N₂分压比测量(精度0.1%)4.材料放气率:单位面积放气量≤510⁻⁸Pam/(scm)5.温度稳定性:-196℃至300℃工况下真空维持能力检测范围1.半导体制造设备腔体2.航天器推进系统密封组件3.高能物理实验真空管道4.医疗灭菌包装材料5.超导磁体低温恒温器检测方法1.ASTME595-07(2019):材料放气率测试标准方法2.ISO3529-3:2021真空技
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
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1.真空度测量:覆盖110⁻Pa至110⁻⁹Pa量程范围
2.漏率检测:灵敏度达110⁻Pam/s
3.气体成分分析:H₂O、O₂、N₂分压比测量(精度0.1%)
4.材料放气率:单位面积放气量≤510⁻⁸Pam/(scm)
5.温度稳定性:-196℃至300℃工况下真空维持能力
1.半导体制造设备腔体
2.航天器推进系统密封组件
3.高能物理实验真空管道
4.医疗灭菌包装材料
5.超导磁体低温恒温器
1.ASTME595-07(2019):材料放气率测试标准方法
2.ISO3529-3:2021真空技术词汇第三部分
3.GB/T3163-2007真空技术术语
4.ASTMF2338-09(2020)包装泄漏测试标准
5.GB/T6070-2007真空系统漏率测试方法
1.Agilent5977BGC-MS:气体成分定性定量分析
2.INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪:最小可检漏率510⁻Pam/s
3.LeyboldPHOENIXL300i:全量程复合真空计(10⁵~10⁻⁰mbar)
4.MKS925B型电容薄膜规:高精度压力测量(0.001~1000Torr)
5.PfeifferVacuumHLT260:氢泄漏测试系统
6.EdwardsXDS35i干式涡旋泵:无油真空产生系统
7.VarianCary630FTIR:残余气体红外光谱分析仪
8.KurtJ.LeskerAGC-4:自动气体校准系统
9.CanonAnelvaMRH-2000:四极杆残余气体分析仪
10.ShimadzuGC-2030:高灵敏度气相色谱仪
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与真空环境检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。