检测项目

1.真空度测量：覆盖110⁻Pa至110⁻⁹Pa量程范围
2.漏率检测：灵敏度达110⁻Pam/s
3.气体成分分析：H₂O、O₂、N₂分压比测量（精度0.1%）
4.材料放气率：单位面积放气量≤510⁻⁸Pam/(scm)
5.温度稳定性：-196℃至300℃工况下真空维持能力

检测范围

1.半导体制造设备腔体
2.航天器推进系统密封组件
3.高能物理实验真空管道
4.医疗灭菌包装材料
5.超导磁体低温恒温器

检测方法

1.ASTME595-07(2019)：材料放气率测试标准方法
2.ISO3529-3:2021真空技术词汇第三部分
3.GB/T3163-2007真空技术术语
4.ASTMF2338-09(2020)包装泄漏测试标准
5.GB/T6070-2007真空系统漏率测试方法

检测设备

1.Agilent5977BGC-MS：气体成分定性定量分析
2.INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s
3.LeyboldPHOENIXL300i：全量程复合真空计（10⁵~10⁻⁰mbar）
4.MKS925B型电容薄膜规：高精度压力测量（0.001~1000Torr）
5.PfeifferVacuumHLT260：氢泄漏测试系统
6.EdwardsXDS35i干式涡旋泵：无油真空产生系统
7.VarianCary630FTIR：残余气体红外光谱分析仪
8.KurtJ.LeskerAGC-4：自动气体校准系统
9.CanonAnelvaMRH-2000：四极杆残余气体分析仪
10.ShimadzuGC-2030：高灵敏度气相色谱仪