检测项目

1.焦距偏差量：测量实际焦距与设计值的偏差范围（0.05μm~500μm）

2.曲率半径精度：球面/非球面元件曲率半径公差（λ/10~λ/20@632.8nm）

3.波前像差：PV值≤λ/4，RMS≤λ/20（ISO10110-5标准）

4.光轴偏移量：中心偏移公差0.5μm~5μm（视口径而定）

5.像散系数：非对称像差分量≤0.05λ（ASTMF2156-19）

检测范围

1.光学透镜：包括球面透镜、非球面透镜及自由曲面透镜（直径1mm-500mm）

2.激光系统组件：激光谐振腔镜片、扩束器棱镜等（表面粗糙度Ra≤1nm）

3.显微物镜：生物显微镜、共聚焦显微镜物镜组（NA≥0.95）

4.光纤耦合器件：准直器、光纤端帽（偏心量≤1μm）

5.航天光学载荷：星载相机镜头、光谱仪分光元件（温度适应-180℃~+120℃）

检测方法

1.干涉测量法：依据ISO14999-4:2015进行波前分析，采用相移干涉技术

2.自准直法：按GB/T10931-2018执行光轴对准精度测试

3.刀口扫描法：遵循ASTMF529-16标准测量焦斑特性

4.激光跟踪仪测量：基于GB/T34879-2017实现大尺寸元件三维坐标检测

5.白光轮廓术：依据ISO25178-602:2010进行纳米级表面形貌分析

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000PV值测量

2.TriopticsOptiCentric双光路测焦仪：焦距测量范围5-2000mm，精度0.01%

3.TaylorHobsonTalysurfCCI非接触轮廓仪：垂直分辨率0.01nm，横向采样1μm

4.LeicaAT960激光跟踪仪：空间坐标测量精度15μm+6μm/m

5.MitutoyoMF-U1000显微测焦系统：物镜NA0.95，Z轴重复性0.1μm

6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：白光垂直扫描速度50μm/s，XY扫描范围100mm100mm

7.Optodyne激光多普勒测振仪：位移分辨率0.1nm@1MHz带宽

8.Keysight5530动态校准仪：角度测量精度0.2arcsec

9.OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm，Z轴重复性3nm

10.FisbaμPhase数字全息仪：实时波前测量速率1000fps@10241024像素