检测项目

1.氦气浓度梯度分析：测量范围0.1%-10%，分辨率0.005%

2.泄漏速率测定：灵敏度110⁻mbarL/s，符合ASTME493ClassIV标准

3.材料渗透系数计算：基于Fick定律推导渗透率（单位：cmmm/mdatm）

4.系统压力衰减测试：压力范围10⁻⁴-1000mbar，监测周期24-72小时

5.温度依赖性验证：测试温区-65℃至+200℃，步进梯度5℃/min

检测范围

1.金属密封件：包括航空发动机叶片、核反应堆压力容器法兰

2.高分子材料容器：如锂电池电解液封装袋、生物制药冻干瓶

3.电子元件封装体：IGBT模块外壳、MEMS传感器腔体

4.真空绝热材料：深冷储罐多层绝热复合膜、超导磁体杜瓦

5.微流控芯片：微通道密封完整性验证（特征尺寸≥50μm）

检测方法

ASTME493-22《StandardTestMethodsforLeaksUsingtheMassSpectrometerLeakDetectorintheDetectorProbeMode》

ISO20486:2017《Leakdetectionsystems-Heliummassspectrometers》

GB/T12604.7-2021《无损检测术语泄漏检测》

GB/T34894-2017《微电子器件密封性试验方法》

ASMEBPVCSectionVArticle10《HeliumMassSpectrometerLeakTesting》

检测设备

1.PfeifferHLT570检漏仪：双通道质谱设计，最小可检漏率510⁻mbarL/s

2.Agilent2100氦质谱仪：四极杆质量分析器，响应时间＜1s（90%信号）

3.LeyboldPhoenixL300i：集成真空系统（极限真空510⁻⁸mbar）

4.INFICONELT3000：带自动校准功能（NIST可溯源标准漏孔）

5.EdwardsTIC系列涡轮分子泵组：抽速600L/s（氦气工况）

6.Varian979系列电离规：压力测量范围110⁻⁰至1000Torr

7.MKS925型气体稀释装置：混合比精度0.1%，流量控制0.1-100sccm

8.ThermoScientificHeratherm恒温箱：温度均匀性0.3℃（-40℃至+150℃）

9.BronkhorstEL-FLOWSelect气体质量流量计：精度0.5%RD+0.1%FS

10.SwagelokSS-4BMW-TW密封测试夹具：最高承压150bar（氦气介质）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与密闭式氦稀释法检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。